Il-wejfer megasonic żewġ - Sided Brushing & Cleaning Spin- Dryer (sic cleaner bl-imqaxxar megasonic spin - jnixxef) jikkonsisti minn apparat wieħed - stazzjon tat-tagħbija, apparat tal-manipulatur tal-wafer (b'kapaċità tal-flipping), apparat li jdur Unità ta 'purifikazzjoni FFU, sistema ta' kontroll elettriku, sistema ta 'pajpijiet, u sistema pnewmatika.
Parametri tal-prodott
1. Fluss tal-Produzzjoni:
Tagħbija → Post → rotazzjoni, tfarfir, tindif, żewġ - Sprejjar tal-fluwidu (naħa SI) → Dawwar 180 grad → rotazzjoni, tfarfir, tindif, sprej megasoniku (ġenb) → rotazzjoni, spin {- tnixxif → ħatt
2. Materjali Major:
Qafas tal-metall
Bord abjad pp
3.trasportazzjoni:
Il-wejfers jinġarru minn idejn robotiku nadif.
Karatteristiċi u Applikazzjonijiet tal-Prodott
Tneħħi partiċelli residwi miż-żewġ uċuħ tal-wejfer:
a. Particle size 0.3~0.5 µm: removal rate >90% jew<200 particles;
b. Particle size 0.5~1 µm: removal rate >95% jew<10 particles.
Nota: Magna ta 'spezzjoni hija kompatibbli ma' Candela jew SICA.
Dettalji tal-Prodott
Kapaċità tal-kamra tal-ħasil:
1 wejfer
Ħin tipiku tal-lott tal-produzzjoni:
madwar . 144 sec / biċċa (il-ħin tal-pinzell huwa aġġustabbli)
Daqsijiet standard:
6 pulzieri (φ150mm) u 8 pulzieri (φ200mm)
Daqsijiet standard mhux -:
φ150 ~ 153mm u φ200 ~ 203mm
Xenarji ta 'applikazzjoni
◇ F'Ottubru 2023, is-SIC Cleaner bi spin ta 'xkupiljar megasoniku - It-tnixxif ġie kkummissjonat u beda jopera bħala unità demo fis-sit tal-klijent għal Wuxi Hy Solar.
It-tags Popolari: Sic cleaner ma 'spin brushing megasonic - tnixxif, kina sic cleaner bi spin spin megasonic brushing - Manifatturi tat-tnixxif
